電弧離子鍍ZrN 薄膜之性質評估

刊登日期:1996/12/5
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真空鍍膜技術(Vacuum Deposition Technology)的發展與工業應用,已經具有相當多年的歷史。在國內的主要應用領域,可大致劃分為三大類:第一類是屬於半導體製程工業,目前超大型積體電路的日趨複雜,使得薄膜厚度要求愈來愈薄,而其中,真空鍍膜技術的應用,也就扮演著不可或缺的重要角色。第二類則為傳統工業(如:航空工業、機械工業…等),許多機械的日趨複雜與性能的提昇,使得材料面對更加嚴重的挑戰,耐腐蝕與抗磨耗的需求也愈來愈迫切,在許多高精密度的零件表面,進行真空鍍膜的披覆,也就成為一項重要的工業應用。最後一類則為民生用品相關產業的應用,隨著人類生活品質的不斷提昇,對許多民生用品的需求,除了實用的功能之外,對外觀的質感需求也不斷提昇,因此,色澤與硬度均十分優異的真空鍍膜,在民生工業的應用領域上,也有了廣泛的應用。
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