將PZT薄膜結晶化之技術

刊登日期:2013/6/18
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理光公司(Ricoh)採用雷射輔助技術(Laser-Assisted Technology)成功地使以CSD(Chemical Solution Deposition)法製成的鋯鈦酸鉛(PZT)達到結晶化目標。
 
實驗證實,新製作的薄膜具有PZT之變位特性。研究團隊結合該公司於2012年度所發表之以噴墨印刷法製作壓電元件的技術,在矽基板上描繪3D造型之壓電材料並以雷射輔助技術使其結晶化,可製作出尺寸介於數微米至數百微米之促動器(actuator)。
 
該公司以雷射輔助技術製作PZT薄膜的優點為相對於使用準分子雷射(Excimer Laser)技術而言,其生產設備裝置小、成本較低且為連續光線,故能在短時間內進行加工處理。
 
新技術可應用的領域相當廣泛,除了在小區域需要具備變位機能的影像機器、硬碟機(HDD)、顯示器等之微機電系統(MEMS)外,也能夠用於製作檢測微小壓力、加速度之感測器。
 
資料來源:化學工業日報/材料世界網編譯

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