低成本、高產能太陽電池之抗反射薄膜開發

刊登日期:2013/1/5
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本研究利用液相沉積法之方式,藉由六氟鈦酸銨與硼酸混合溶液製備二氧化鈦抗反射薄膜於6吋多晶矽基板上,並將此抗反射薄膜應用於太陽電池上。液相沉積法為低溫製程、具選擇性沉積、大面積生產、薄膜成分容易調整,以及可批次量產等優點。在最佳製程條件下,其平均反射率在波長範圍400~900 nm為5.94%,而二氧化鈦抗反射薄膜應用於6吋多晶矽太陽電池上,其光電轉換效率可達15.92%。


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