掃描探針微影術在奈米科技上之應用

刊登日期:2001/5/5
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掃描探針微影術是利用掃描探針顯微鏡(如原子力顯微鏡及掃描穿隧顯微鏡等)來進行奈米級微影之新技術。本文以利用原子力顯微鏡對氮化矽薄膜進行局部場致氧化之方法為主軸,介紹掃描探針微影術,並說明其在奈米微加工及區域選擇性化學氣相沈積等重要領域之應用。掃描探針微影之操作容易且成本低廉,非常適合研發單位從事奈米技術之研究,是深具應用潛力的工具。
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