掃描探針微影術是利用掃描探針顯微鏡(如原子力顯微鏡及掃描穿隧顯微鏡等)來進行奈米級微影之新技術。本文以利用原子力顯微鏡對氮化矽薄膜進行局部場致氧化之方法為主軸,介紹掃描探針微影術,並說明其在奈米微加工及區域選擇性化學氣相沈積等重要領域之應用。掃描探針微影之操作容易且成本低廉,非常適合研發單位從事奈米技術之研究,是深具應用潛力的工具。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 掃描探針顯微鏡之原理與應用 熱量測在熱管理之應用 新型探針卡技術介紹 場發射掃描式電子顯微鏡分析技術應用簡介 FE-SEM/CL/EBSD 分析技術簡介 熱門閱讀 鋼鐵產業低碳製程技術發展趨勢 Ga2O3功率元件於電動車應用的發展(上) 高安全鋰電池材料與技術 固態鋰離子電池技術 聚焦二氧化碳再利用,推動脫化石資源依賴 相關廠商 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 方全有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 里華科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 銀品科技股份有限公司