掃描探針顯微鏡之原理與應用

刊登日期:2001/5/5
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奈米科技是80 年代中才開始發展的新興科學與技術,它將引發本世紀的材料、生化、光電、能源等技術之革命,人類將從而獲得巨大的實際效益,也因此奈米等級的測量技術也受到高度的重視。掃描探針顯微鏡由於其原子級的測量解析度、簡易的操作方法,以及低廉的價格等優異特點,而被廣泛的應用在半導體、光電、材料與記錄媒體產業。本文就針對掃描探針顯微鏡之各種檢測原理加以說明,其中包含:掃描穿隧電流顯微術、原子力顯微術、近場光學顯微術等。
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