不用有害物質,利用水之微影成像技術

 

刊登日期:2024/11/7
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微細加工技術是一項製作電腦晶片、醫療設備等必要微細結構的技術,例如製造家用電子產品的積體電路時就使用了微影(Photolithography)技術。不過製作如此微小的圖案(Pattern)通常須使用有害且廢棄處理不易的化學物質,而美國芝加哥大學以水做為活性化劑取代既有的有害物質,開發出對環境友善的微細加工法,可望應用在感測器、醫療元件等方面。

新技術係將利用鹽的光化學合成製程予以改良後的方式,利用雷射在紙等天然素材上製作出圖案,利用水即可簡單實現轉移。水可將微細圖案從基材穩定且有效地分離,以此手法進行圖形化元件轉移的所需時間不到1秒,剝離速度遠勝於既有技術。此項製程模仿了壁虎貼附/離開牆壁的樣子。

研發團隊利用此技術對於以纖維素轉換成導電性碳材的製程進行了改良,並將碳材的表面予以精密調整,利用模擬器有效率地促進奈米材料的反應,藉此製作出高度的感測器。隨後並以此基礎繼續改良開發出以雷射寫入、圖案轉移的「Roll-to-roll Laser Writer」自動化裝置。

這套裝置雖不需要矽晶片般的極高精度,但特別適用要求高機能性的設備,例如醫療檢查時使用的低價拋棄式感測器、穿戴式設備等。研發團隊表示此項設計將能有助於提升極薄醫療設備的製造效率。


資料來源: https://engineer.fabcross.jp/archeive/241010_greener-microfabrication.html
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