台灣半導體設備產業發展趨勢：材料世界網

台灣半導體產業發展蓬勃，晶圓代工、後段封裝測試與IC設計等次產業的全球排名更是數一數二，2015年國內半導體產業產值約新台幣 2.4 兆元，但半導體設備產值僅新台幣 801億元，相較於半導體產業的風光，台灣半導體設備產業顯然星光黯淡許多。要如何帶動國內半導體設備產業發展，不僅關係到廠商的生路，也關係到國內半導體與精密機械產業未來的發展，因此產官學研各界皆應正視此課題。

台灣半導體設備重要廠商動向
近年來台灣半導體設備廠商表現較佳的有漢微科、帆宣、京鼎等廠商。未來半導體製程朝向 18吋發展的過程中，製造與設備業者可能會朝向寡佔的趨勢發展，全球半導體客戶對於檢測設備的要求愈趨嚴格，漢微科約佔全球電子束檢測設備八成市佔率，其中28奈米電子束檢測設備漢微科市佔率逼近 100%，20 奈米市佔率也逾八成。帆宣公司主要為系統代理廠商及半導體廠務設施承攬商，並自行生產零組件且跨足生產平面顯示器及太陽電池設備，代工生產包括美商業凱科技電子束陣列測試等尖端設備，並且積極拓展其他半導體設備次系統代工，客製化設備營收比例提升至 20%以上。京鼎能源科技公司除承接美商 Applied Materials、attson 等前段設備次系統代工外，更藉由工業局研發計畫發展 TFT LCD 面板雷射切割設備、超薄玻璃面板切割技術及8.5代缺陷檢查設備，積極切入 LCD 設備領域以及 LED 照明應用領域。

台灣半導體設備產業趨勢
3D IC 技術目前在 IC 設計、晶圓製造與封測等各領域均有顯著進展，預計量產時程為 2014~2015年，各項應用將逐步興起。政府目前積極推動國內半導體設備與零組件產業發展，台灣相關廠商在政府的主導與全力支援下，目前在整體設備自製率部份（如圖一），也由 2006 年的 6% 上升至 2014 年的 19.1%，預估 2015 年可達到 21.0%。

圖一、國內半導體設備自製率變化趨勢

至於耗材零組件的自製率（如圖二），也由 2006 年的 18.3% 增加至 2014 年的 55.2% 左右，估計 2015 年可達到 60.0%。在國內相關廠商之規模無法與其他國外大廠相比的現實情況下，要扶植本土廠商成為具有國際競爭力的業者，集中產學研資源開發關鍵設備及零組件是最有效措施。

國內半導體設備產業之全球競爭力
表一是國內半導體設備產業的全球競爭力分析，2015 年國內半導體設備市場規模達到新台幣 3,813 億元，佔全球市場的 30%，但國內產值佔全球的比重僅為 5.3%，顯示國內半導體廠商大部分皆採用國外設備廠商的產品，亦即國內半導體設備廠商的競爭力不如國外業者。由表一的威脅部分，可觀察出目前南韓與新加坡等政府與廠商皆積極發展半導體設備產業，若台灣再不迎頭趕上，極有可能無法保住有之地位。

表一、國內半導體設備產業的全球競爭力分析

解決台灣半導體設備產業困境的方法
在半導體前段設備部份，台灣廠商整機製造能力與國外大廠相較，仍有努力的空間，因此目前當務之急為提高前段設備的零組件、耗材國產化比率。晶圓製造業者基於成本與服務效率的考量，對於設備零組件的在地化供應已有高度共識，例如台積電目前……以上為部分節錄資料，完整內容請見下方附檔。

作者：陳慧娟 /金屬工業研究發展中心
★本文節錄自「工業材料雜誌」350期，更多資料請見下方附檔。

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