LTCC 之內埋式電阻技術

 

刊登日期:2001/9/5
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評估晶片電阻膏應用於低溫共燒陶瓷(LTCC)之內埋元件製程的可行性,利用厚膜製程網印於工研院材料所開發之LTCC 生胚,將電阻內埋於LTCC 積層結構中,觀察晶片電阻膏與LTCC 基板的匹配性,同時測量電阻之電氣特性的變化。由實驗結果得知,晶片電阻膏並不適用於我們LTCC 系統,因為許多氣泡殘存於結構中,而影響電阻特性。因此開發內埋式電阻膏必須針對不同生胚材料系統來匹配,才能得到良好的電氣特性。
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