微影蝕刻黃光室的製程照明設備

 

刊登日期:2009/5/5
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科技產品一直不間斷地朝輕薄短小的方向開發,對精密蝕刻的精度及良率要求也愈來愈嚴苛。微影製程主要的工作環境-黃光室,除了要滿足高規格無落塵要求外,對溫濕度也須加以控制,就連照明燈具的放射頻譜及表面特性也有嚴格的限制。這是因為使用光阻劑對短波長環境光具有高敏感性,會嚴重影響產品的良率。然而,以台灣位居全世界顯示面板及IC半導體的生產重鎮,每年消耗掉數十萬支的黃光螢光管卻幾乎完全由國外進口,現階段以類似國產品取代的能力仍不足。台灣LED產值位居全球第二,僅次於日本,現正列為國家新兆元能源產業之一,以外銷為導向並向上游生根,觸角早已囊括上中下游,產業結構相當完整。以此雄厚專業分工的產業實力,充份發揮LED的應用優勢,應足以在此高科技產業的專業照明領域上開發適用的創新產品,不但自給自足以降低進口及營運成本,更可望反客為主外銷,促進出口並提升在產業供給鏈中的地位。


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