高精度銅配線鍍鎳技術

 

刊登日期:2009/4/7
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日立金屬集團的NEOMAX鹿兒島公司,最近開發出使印刷基板上的微細銅配線精度更高的鍍鎳技術,有助於防止配線間絕緣不良產生的短路,提高基板配線密度。將由NEOMAX Material負責銷售事宜,2013年度的年營業額預計達13億日圓。

目前,銅配線間距以35-50微米左右為主,未來有到15微米的需求。為防止銅配線腐蝕及改善焊錫接性,向來是施以無電解鍍鎳處理;但是要完全防止鎳異常析出配線間殊為不易,以致有耐電壓、絕緣性降低的問題產生,尤其是配線間隔一窄,異常析出的影響大,即造成微細化的問題。

該公司本次從根本重新研究原來以鈀做觸媒的電鍍方法,而開發出銅配線的鍍鎳技術。新鍍鎳技術的特徵在1.高絕緣可靠性;2.可以進行精密的電鍍;3.樹脂基板、陶瓷基板均適用;4.不含鉛。

                                                 圖說:印刷基板表面照片


資料來源: 電波新聞 / 材料世界網編譯
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