次十奈米光學顯微鏡的發展及應用

 

刊登日期:2008/9/1
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本文回顧傳統光學顯微鏡及掃描式近場光學顯微鏡的發展,並介紹工研院材化所電漿子技術實驗室自行架設的多波長散射式掃描近場光學顯微鏡原理與架構,其空間解析可突破繞射極限,達10nm,且可量測樣品在不同波長雷射照射下的近場光學行為,提供樣品地貌與近場光學特性的直接對應資訊。對於奈米結構的光學特性、微區材料分辨、電漿子光學等應用有相當大的助益。


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