簡介新式駐極體電容式矽麥克風

 

刊登日期:2007/1/5
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本文介紹一種結合微機電製程與傳統麥克風封裝程序的新式駐極體電容式矽麥克風結構。運用微機電製程的高可靠度及高精度之特性來製作影響麥克風感度最劇的麥克風振膜以去除傳統機械加工製作振膜存在的不穩定性、耐候性及耐溫性不佳問題,配合傳統麥克風封裝架構所具有的簡易性與低價性,將駐極體材料內建在開孔金屬背板上,並於背板下方氣腔放置合適的訊號放大IC或FET,再以金屬外殼包覆整體結構以屏蔽外部雜訊,形成一微型駐極體電容式矽麥克風,比一般傳統駐極體電容式麥克風具有更小體積、更佳靈敏度及更高可靠度,並具表面黏著技術(Surface Mount Technology; SMT)功能,可作為後續發展差動模式(Differential Mode)或數位式(Digital Mode)麥克風之依據。
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