日本Toray開發出全球首款可在厚度200 μm的膜上形成微細圖案、不含全氟/多氟烷基物質(PFAS)的液態感光型聚醯亞胺(PI)材料「STF-2000」。新材料實現了最高7的高長寬比(Aspect Ratio),並具備優異的耐熱性與絕緣性能,可作為永久性膜層使用。此外,「STF-2000」亦不含N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP),適用於鹼性顯影。目前已展開商樣評估,預期可應用於具有高長寬比需求的電感器(Inductor) 等電子零件、使用厚膜結構材料的微機電系統(MEMS)設備等用途。Toray也計畫在2025年度內實現量產。
Toray旗下既有產品「STF-1000」雖已能進行500 μm的超厚膜加工,但未符合PFAS-Free的環境友善需求。目前市場上尚無可同時達成PFAS-Free與200 μm米厚膜圖案形成的感光材料,因此過去須採用多層堆疊方式製膜,不僅提高異物混入風險,也容易造成圖案倒塌等加工難題。此次開發的負型感光性聚醯亞胺材料「STF-2000」可大幅抑制硬化反應的收縮應力,俾使永久膜層不易變形或產生裂縫。Toray透過提升PI的感光度與透明度,成功實現200 μm厚膜一次塗佈、曝光、顯影即可形成微細圖案。即使在高長寬比條件下,圖案亦不會倒塌,且無殘渣產生。目前Toray也投入於厚膜對應的片狀材料開發,期今後同時提供液狀與片狀產品,滿足多樣化市場需求。