日本東北大學衍生新創企業FOX於日前發表將展開次世代功率半導體用「氧化鎵(β-Ga2O3)」半導體基板(晶圓)的量產。利用獨家技術「Oxide Crystal growth from Cold Crucible method；OCCC method」，將可望以低成本生產高純度基板。
以4吋基板而言，採用新結晶化技術OCCC法的製造成本將在1萬日圓左右，約為既有方法100分之1的成本。OCCC法係透過將原料置入利用水冷卻的銅容器中，並施加比既有方法更高頻率的電磁波，使原料熔化並形成結晶。
FOX於9月從半導體貿易公司Macnica、岩谷產業等企業創投(CVC)募集了資金，包括新能源產業技術綜合開發機構(NEDO)的補助金在內，共籌集了7.7億日圓。今後FOX也計畫進一步提升4吋基板開發技術，期於2028年建立6吋基板之量產技術。