應用奈米壓痕量測技術於薄膜之機械性質量測：材料世界網

結構硬度的量測一直被用來作為判斷材料性質的工具，許多機械性質卻可藉由其硬度值而加以推算或預估，如表面耐磨耗的程度、塑性變形的容忍度、材料的楊氏係數及降伏強度、延展性以及破壞韌性等。本文主要針對奈米壓痕量測技術的理論發展、在不同材料與奈米摩耗上的應用氮化鉻薄膜、氮化鈦-氮化鋁混層結構等高硬度膜之機械性能量測的結果等加以分析分紹。

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