氧化鋅奈米線技術平台與其應用

 

刊登日期:2004/9/5
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工研院材料所無機奈米線研發團隊從2001 年起致力於氧化鋅奈米線的相關研究,今已有具體技術成果,從氧化鋅奈米線之成長合成控制技術、氧化鋅奈米線之修飾技術,到氧化鋅奈米線垂直成長於矽晶、藍寶石基板與玻璃基板數種具加工性與光電應用潛力之技術,除了建立氧化鋅奈米線之製備成長技術外,考量其產業實用加工性,重視在奈米線與微機電相容製程設計,已經成功開發氧化鋅奈米線陣列圖案化製作技術。此外,在利用氧化鋅奈米線陣列之化學感測性質研究、紫外光感測性質量測、氧化鋅奈米線雷射行為與垂直氧化鋅奈米線之場發射驗證,皆有其可行性。本團隊致力於奈米線成長控制加工技術之開發,與重視奈米線之光電物理與介觀化學性質理論之探討,以期建立完整之奈米線技術平台,並確立其在奈米元件設計開發的知識技術基礎。
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