微圖化光學膜製程技術

 

刊登日期:2004/5/5
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微圖化光學膜是將光學薄膜結合微影製程技術,將光學膜應用在微小化、積體化產品上。利用離子輔助電子鎗蒸鍍設備,以低溫製程方法開發多層介電質膜之彩色陣列濾光模組,製作6µm厚正光阻,在有效尺寸約100µm×35mm區域內,鍍上約m厚之Ta2O5/SiO2 多層介電質膜,使彩色陣列濾光模組的六種色彩,隨機分佈在35mm×35mm 之基板上,相鄰顏色重疊區約5µm,經過來回六次之微影(Lift-off)IAD低溫製程完成樣品。樣品且通過環境耐久性試驗,穿透光譜之波長漂移量小於5 nm

 


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