微圖化光學膜是將光學薄膜結合微影製程技術，將光學膜應用在微小化、積體化產品上。利用離子輔助電子鎗蒸鍍設備，以低溫製程方法開發多層介電質膜之彩色陣列濾光模組，製作6µm厚正光阻，在有效尺寸約100µm×35mm區域內，鍍上約3µm厚之Ta2O5/SiO2 多層介電質膜，使彩色陣列濾光模組的六種色彩，隨機分佈在35mm×35mm 之基板上，相鄰顏色重疊區約5µm，經過來回六次之微影(Lift-off)與IAD低溫製程完成樣品。樣品且通過環境耐久性試驗，穿透光譜之波長漂移量小於5 nm 。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 類鑽薄膜材料技術應用發展 類鑽薄膜材料技術與應用發展 材料微波處理技術及其應用 帶動工業技術巨大革新的電漿表面處理技術 電漿表面處理在生醫材料上之應用 熱門閱讀 NEPCON JAPAN 2019 日本東京特別報導系列一 NEPCON JAPAN 2019 日本東京特別報導系列三 NEPCON JAPAN 2019 日本東京特別報導系列二 從Finetech Japan 2018看OLED之進展 全球電動車市場發展動向與熱門議題 相關廠商 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 名揚翻譯有限公司 高柏科技有限公司 銀品科技股份有限公司 友德國際股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 台灣鑽石工業股份有限公司 科邁斯科技股份有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司