微圖化光學膜是將光學薄膜結合微影製程技術，將光學膜應用在微小化、積體化產品上。利用離子輔助電子鎗蒸鍍設備，以低溫製程方法開發多層介電質膜之彩色陣列濾光模組，製作6µm厚正光阻，在有效尺寸約100µm×35mm區域內，鍍上約3µm厚之Ta2O5/SiO2 多層介電質膜，使彩色陣列濾光模組的六種色彩，隨機分佈在35mm×35mm 之基板上，相鄰顏色重疊區約5µm，經過來回六次之微影(Lift-off)與IAD低溫製程完成樣品。樣品且通過環境耐久性試驗，穿透光譜之波長漂移量小於5 nm 。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 類鑽薄膜材料技術應用發展 類鑽薄膜材料技術與應用發展 材料微波處理技術及其應用 帶動工業技術巨大革新的電漿表面處理技術 電漿表面處理在生醫材料上之應用 熱門閱讀 從專利分析看Micro-LED全球趨勢(上) 半絕緣碳化矽晶圓發展現況 從SID 2018觀察全球顯示器產業新興技術發展動向(下) 從SID 2018觀察全球顯示器產業新興技術發展動向(上) 高頻通訊用半導體基板材料發展現況 相關廠商 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 名揚翻譯有限公司 高柏科技有限公司 銀品科技股份有限公司 友德國際股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 台灣鑽石工業股份有限公司 科邁斯科技股份有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司