微圖化光學膜是將光學薄膜結合微影製程技術,將光學膜應用在微小化、積體化產品上。利用離子輔助電子鎗蒸鍍設備,以低溫製程方法開發多層介電質膜之彩色陣列濾光模組,製作6µm厚正光阻,在有效尺寸約100µm×35mm區域內,鍍上約3µm厚之Ta2O5/SiO2 多層介電質膜,使彩色陣列濾光模組的六種色彩,隨機分佈在35mm×35mm 之基板上,相鄰顏色重疊區約5µm,經過來回六次之微影(Lift-off)與IAD低溫製程完成樣品。樣品且通過環境耐久性試驗,穿透光譜之波長漂移量小於5 nm 。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 類鑽薄膜材料技術應用發展 類鑽薄膜材料技術與應用發展 材料微波處理技術及其應用 帶動工業技術巨大革新的電漿表面處理技術 電漿表面處理在生醫材料上之應用 熱門閱讀 「Touch Taiwan 2022」現場報導系列一 「Touch Taiwan 2022」現場報導系列二 磷酸鋰鐵(LiFePO4)4680電池, 昇陽已經準備好了 車用顯示面板發展趨勢 邁向全固態鋰電池:固態電解質之傳輸動力學 相關廠商 金屬3D列印服務平台 2022 Touch Taiwan 系列展 名揚翻譯有限公司 捷南企業股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 台灣鑽石工業股份有限公司 科邁斯科技股份有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 銀品科技股份有限公司