類鑽薄膜材料技術與應用發展：材料世界網

近年來，許多研究人員大力投入類鑽薄膜方面的研究與發展，主要是由於其在硬度、化學穩定性、熱傳導與光學穿透性方面具有優異的性質。因此類鑽薄膜常被應用於保護鍍層，如：光學視窗、磁碟、汽車零件、生醫方面的器官等。另外，在微機電元件方面，也有文獻報導可應用類鑽薄膜之特殊的機械性質來作微控制。目前，類鑽薄膜可利用許多不同的方法來製備，其中包括有離子束沉積、濺鍍、直流或高周波電漿輔助化學蒸鍍以及陰極電弧等技術。

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