一般非破壞性偵測表面與多層薄膜之低掠角入射X 光實驗方法被評估了。X光反射方法(X-Ray Reflectivity Technique)係研究表面均勻度與氧化現象、層厚度與密度、介面粗糙度與擴散作用等等。平面內(In-plane)繞射方法以低掠角入射X光偵測磊晶生成薄膜之平面內結晶結構，不對稱低掠角Bragg 繞射(Asymmetric-Bragg Diffraction)鑑定表面薄膜晶相及決定多晶薄膜縱深剖面之結構。本文將用典型例子說明這三種方法所能得到的資料。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 可促進植物生長之塗佈型光波長轉換透明膜 適用於導電用途的鍍銀壓克力粒子 薄膜量測標準 全球最高等級誘電率之PPS薄膜 尼龍膜加工製程與市場應用 熱門閱讀 玻璃基板上TGV的金屬化製程 玻璃成孔技術發展現況 半導體用抗反射層材料 玻璃通孔(TGV)之電鍍銅金屬化處理及其微結構改質 半導體用光酸材料技術 相關廠商 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司