蝕刻設備之蝕刻均勻性及驗收條件探討

 

刊登日期:1996/9/5
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最近有關於LCD 製程中之ITO 蝕刻(Etching)設備的驗收方法,在台灣的各使用客戶中有各種不同的意見,對於蝕刻設備的驗收方法及驗收應注意事項,本文作一簡單的介紹。
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