乾膜光阻驗證平台
■ 技術創新特性
▶ 液態感光材料結合乾膜化製程技術，提升厚膜均勻性與解析度
▶ 微影製程與電鍍製程技術，能夠在 ABF 載板或銅基板上進行異質凸塊成型
■ 核心技術能力
▶ 厚膜光阻製程整合能力
▶ 微影 / 電鍍協同平台建立
■ 技術成果
半導體光阻劑驗證平台
■ 技術創新特性
建立半導體級光阻劑之塗佈 / 曝光 / 顯影實驗線，評估光阻劑配方之塗佈均勻性、附著性、靈敏度、對比度和顯影速率等特性補足業界技術缺口，加速材料產業鏈本土化。
■ 光阻驗證技術
■ 光阻驗證技術
▶ 光阻劑靈敏度、對比度及顯影速率分析評估
▶ 光阻劑配方和製程驗證技術，可精準評估光阻性能並支援製程最佳化
工研院材化所 V100 感光材料與應用研究室