功能性壓克力單體開發&DUV 驗證平台

功能性壓克力單體開發

■ 技術簡介

建立壓克力單體改質技術，開發功能性壓克力單體應用於半導體與光電領域。

 

DUV 驗證平台

■ 技術簡介

建立微影製程驗證平台，進行光阻單體、光酸、界面活性劑、樹脂與光阻劑配方之DUV 製程驗證。

 

 

工研院材化所 L700 半導體製程材料合成與應用研究室