可用於卷對卷且可連同電極一次形成之有機EL用阻隔膜

 

刊登日期:2019/5/22
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山形大學有機電子研發中心(Innovation Center for Organic Electronics;INOEL)與帝人、TOSOH、FEBACS等公司共同開發了一項可撓式有機電致發光(EL)裝置用阻隔膜技術,可以用卷對卷(Roll to Roll)方式將氧化矽類(SiO2)的高阻隔性單層膜與銦鋅氧化物(Indium Zinc Oxide;IZO)一起成形。以蝕刻膠進行的電極加工,相較於使用許多溶劑的光蝕刻法(Photolithography),環境負荷也較低。

在實證實驗中,採用了帝人的聚2,6萘二甲酸乙二酯(Polyethylene Naphthalate;PEN)薄膜,氧化矽類阻隔膜是以電漿輔助化學氣相沈積法(Plasma enhanced CVD;PECVD)形成,銦鋅氧化物膜則以濺鍍方式成膜。網板印刷時透過塗佈蝕刻膠,將銦鋅氧化物直接圖案化,進而形成透明電極。

在水蒸氣透過率(Water Vapor Transmission Rate)評估實驗中,確認新阻隔膜達到6.3×10-6 g∕m2∕日的高阻隔性。此外,將膜厚720 nm的薄膜,以40℃、濕度90%的條件測試616小時後,確認仍能維持其封裝效果。

有機EL素材或電極對水份、氧氣的耐受性較差,而基材的阻氣性能則與使用壽命有直接相關性。相較於玻璃,水蒸氣等較容易穿透薄膜,因此有必要在薄膜表面形成阻隔膜。但一般技術存在著使用批次處理的真空製程、多層膜工序較多等問題,而新技術以卷對卷製程就可完成,將可望大幅提高生產的效率化。目前研究團隊也持續進行有機EL材料技術的實證,預計在2022年達到實用化之目標。


資料來源: 化學工業日報 / 材料世界網編譯
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