日本產業技術綜合研究所日前以Super Growth單相CNT膜的微影(Lithography)加工法，開發出奈米碳管積體化後的微電容器。相較於過去的鋁質電解電容器，透過積體化可製作體積縮小至1/1000的電容器。今後將進行需求調查、尋找合作企業，以達到早期實用化。 Super Growth CNT膜具有高純度，比表面積大，作為電極材料可製作可高速充放電的微電容器。但單體性能差，積體化為首要之務。產總研利用乾式蝕刻技術，開發出將矽基板CNT膜加工成梳子狀電極的微影製程。CNT電極呈現直列，為了與之連接，該公司結合隔離膜建構技術，製作出積體微電容器。 資料來源: 化學工業日報/材料世界網編譯 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 以碘提高CNT電氣傳導性有助於提升4倍儲電量 CNT與氧化鋁微粒子的複合新材料 奈米孔洞碳材特性與超級電容應用 產總研開發單層奈米碳管之高性能電容器 超強的奈米碳管織布 熱門閱讀 玻璃基板上TGV的金屬化製程 玻璃成孔技術發展現況 半導體用抗反射層材料 玻璃通孔(TGV)之電鍍銅金屬化處理及其微結構改質 半導體用光酸材料技術 相關廠商 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 喬越實業股份有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司