日本產業技術綜合研究所日前以Super Growth單相CNT膜的微影(Lithography)加工法，開發出奈米碳管積體化後的微電容器。相較於過去的鋁質電解電容器，透過積體化可製作體積縮小至1/1000的電容器。今後將進行需求調查、尋找合作企業，以達到早期實用化。 Super Growth CNT膜具有高純度，比表面積大，作為電極材料可製作可高速充放電的微電容器。但單體性能差，積體化為首要之務。產總研利用乾式蝕刻技術，開發出將矽基板CNT膜加工成梳子狀電極的微影製程。CNT電極呈現直列，為了與之連接，該公司結合隔離膜建構技術，製作出積體微電容器。 資料來源: 化學工業日報/材料世界網編譯 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 以碘提高CNT電氣傳導性有助於提升4倍儲電量 CNT與氧化鋁微粒子的複合新材料 奈米孔洞碳材特性與超級電容應用 產總研開發單層奈米碳管之高性能電容器 超強的奈米碳管織布 熱門閱讀 功率半導體元件與散熱技術 寬能隙功率半導體封裝之結構設計與互連技術挑戰 功率半導體之高導熱陶瓷基板材料技術與應用發展 廢氫氟酸轉製冰晶石有價資源化技術 AI世代之次世代功率半導體產業發展 相關廠商 新加坡商英彼克有限公司台灣分公司 台灣石原產業股份有限公司 金屬3D列印服務平台 喬越實業股份有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司