掃描探針微影術是利用掃描探針顯微鏡（如原子力顯微鏡及掃描穿隧顯微鏡等）來進行奈米級微影之新技術。本文以利用原子力顯微鏡對氮化矽薄膜進行局部場致氧化之方法為主軸，介紹掃描探針微影術，並說明其在奈米微加工及區域選擇性化學氣相沈積等重要領域之應用。掃描探針微影之操作容易且成本低廉，非常適合研發單位從事奈米技術之研究，是深具應用潛力的工具。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 掃描探針顯微鏡之原理與應用 熱量測在熱管理之應用 新型探針卡技術介紹 場發射掃描式電子顯微鏡分析技術應用簡介 FE-SEM/CL/EBSD 分析技術簡介 熱門閱讀 「Touch Taiwan 2022」現場報導系列一 「Touch Taiwan 2022」現場報導系列二 Mini/Micro LED顯示用PSPI材料 應用於Mini LED背光模組之複合光學膜材 6G通訊技術面面觀 相關廠商 金屬3D列印服務平台 捷南企業股份有限公司 名揚翻譯有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 東海青科技股份有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 台灣鑽石工業股份有限公司 科邁斯科技股份有限公司 方全有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 正越企業有限公司 桂鼎科技股份有限公司 里華科技股份有限公司 華錦光電科技股份有限公司 高柏科技股份有限公司 銀品科技股份有限公司 2022 Touch Taiwan 系列展