場發射掃描式電子顯微鏡分析技術應用簡介

 

刊登日期:2003/9/5
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電子顯微鏡在材料的分析上一直扮演著重要的角色,尤其是掃描式電子顯微鏡的試片製備不像穿透式電子顯微鏡般複雜與繁瑣,因此使用也較為普及。在奈米科技蓬勃發展的階段,追求更高解析度、聚焦區域更小、電流密度更高以及燈絲使用壽命更長的場發射掃描式電子顯微鏡更是不可缺少。近來場發射掃描式電子顯微鏡技術向上研發,已能將影像解析度提升到1 個奈米,而且不同分析功能的偵檢附件也不斷的被研發出來,期盼能應用於更多不同領域的材料分析技術上。
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