LED靜電破壞的耐受性及失效探討

 

刊登日期:2011/8/5
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隨著高功率氮化鎵藍光LED晶粒的發展,靜電放電(ESD)對於成長在絕緣藍寶石(Al2O3)基板上水平結構之LED晶粒所造成的傷害,已成為相當重要的議題。本文將探討藍光氮化鎵LED在不同靜電放電情形下的耐受性,並分析其失效原因及容易造成失效的位置。由於靜電放電傷害發生在極短時間之內,難以即時觀測其失效情形。經由SEM、TEM及AFM等實驗分析,結果證明, LED 的V 形缺陷及表面形貌和靜電放電破壞有關連性。


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