終端產品的效能表現，往往受到表面化學組成與微結構特性影響，單純了解巨觀(Bulk)之材料本身的性質功能已不符合實際需求。因此表面處理技術與精密分析在各類高科技產業均愈發受到重視。在生醫材料領域，醫療器材表面正是與生物體環境相接觸的第一線，材料表面主導了生物相容性、蛋白質或細胞吸附性、抗菌性、抑或藥物釋放率等關鍵角色。因此，在醫療器材產業中，表面處理與分析技術的開發，可望以微觀角度為許多製程端和與人體接觸時可能產生的問題提供解答。本文將由生醫材料所需的性質評估與醫療器材產業的需求出發，討論微結構型貌觀測常見之電子顯微鏡及原子力顯微鏡，以及微區、微量組成分析，並對局部鍵結能量及元素分布有高解析度之表面化學分析電子能譜儀及二次離子質譜儀等，於生醫材料檢測多所應用之儀器，介紹其分析原理，說明其在醫療器材產業中所扮演的重要角色，以俾參考。