AES/ESCA表面分析技術於工業材料上的應用

 

刊登日期:1995/10/5
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隨著工業產品愈來愈趨向於輕、薄、短、小的趨勢,材料的表面問題及界面間的特性也愈顯重要,它們直接、間接地成為影響產品好壞的因素,甚至是重要關鍵。例如,電子元件材料或薄膜材料,若能夠了解其表面及界面的微細結構、化學成份與化學態,對於產品的開發或產品故障分析均有非常大的幫助。此文將介紹歐傑電子儀(Auger Electron Spectroscopy, AES),及化學分析電子儀(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, ESCA)在工業產品上的應用,並探討分析問題的原因。
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