3D IC 散熱及可靠度設計技術

 

刊登日期:2009/10/5
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由於3D IC具有提升效能、降低功率消耗及異質晶片整合的優點,因此非常受到重視。3D IC技術利用矽晶片穿孔(Through Silicon Via; TSV)技術作為電性連接,而將半導體線路做垂直方向連接是主要的技術核心。由於晶片堆疊時所產生的高發熱及微細結構所產生的可靠度問題已成為技術瓶頸,本文將介紹3D IC 熱傳及熱應力問題及其設計技術發展。為降低晶片發熱問題,從晶片到封裝層級進行散熱設計是非常重要的,而透過應力模擬分析可以得到3D IC的應力分布趨勢並進一步提升元件可靠度。


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