太陽電池多晶矽材料及密閉迴路連續式流體化床製程：材料世界網

本文探討太陽電池級多晶矽的材料技術及各種生產多晶矽的技術比較，內容包含矽原料性質、矽烷及鹵矽烷製法、多晶矽的沉積流程、矽烷及各種副產物的回收、流體化床的設計，以及各種新近提出具有競爭潛力的製程。

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太陽電池多晶矽材料及密閉迴路連續式流體化床製程