乾式真空泵浦應用於太陽電池製程之需求與挑戰：材料世界網

真空技術是太陽能光電面板生產製程的一個促成因子，就整個太陽能模組的生產鏈而言，不論在矽晶片的生產、薄膜層的沈積以及最後的整體封裝步驟，真空抽氣設備都是必需的。此外，運用在玻璃或有機基板的薄膜技術，對最佳化真空處理解決方案也有強烈的需求。本文將陳述運用在目前太陽能光電模組生產過程中，在矽晶圓之製造上，不同薄膜層的沈積製程以及後段模組貼合製程的真空規格需求與挑戰。

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