微尺度薄膜熱傳導性能量測方法

 

刊登日期:2007/7/5
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本文將對薄膜熱傳導性能的量測方法與理論,做一系統性的介紹。文中以所使用的理論不同,將量測方法分類成熱擴散法(Diffusivity Methods)及熱傳導法(Thermal Conductance Methods)兩類。而在量測方法介紹上,亦將以理論發展之時程先後,依序進行介紹,以期能瞭解理論發展上的大致趨勢。同時在每段文章的介紹之後,亦將提及不同量測方法在使用上必須注意之處,及相關技術瓶頸,希望對日後之研究有所幫助。


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