具奈米圖案之精密微細模具的非微影製作方法

 

刊登日期:2006/7/5
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材料的特性(如光、電及化學性質等)會因表面的顯微結構而受到很大的影響,過去幾年,在奈米科技的探索以有序並規則的表面結構來了解可能造成的特殊物理性。而多數使用微影技術來製作並驗證規則陣列的奈米結構的性質,但製作成本太高是商業化的一大障礙,以非微影的方法來製作具微奈米結構的模仁(具)是可能解決高製作成本的方式。
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