立命館大學開發出可簡易、高速形成精細銅圖案之加工技術

 

刊登日期:2024/2/26
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日本立命館大學開發了一項可簡易且快速地形成微細銅圖案的加工技術。由於無須任何藥液、光阻劑等物質,可望減少環境負荷並提高成本效益。電解加工是透過電解將銅電離、溶出至液體以進行加工,雖然僅對銅表面的目標部分進行加工,即可獲得任何圖案構造,但仍難以達到高精度圖案的加工,且有使用大量化學溶液的課題待解決。

有鑑於此,立命館大學利用固體高分子電解質膜(PEM)的特殊膜取代了電解加工所使用的化學溶液。利用在PEM表面上帶有圖案的「PEM印章」,透過與銅表面接觸點的電化學反應,發現可以在單一製程中形成精度為數百奈米的圖案。透過對銅表面進行壓印般的動作,即可簡易且快速地形成圖案。此外,研究中也發現透過電解電離的銅離子在PEM中移動並再次以金屬形式沉積於陰極表面。

此項研究結果可望在銅表面的微細圖案加工方面,無需複雜的製程或特殊設備,即可簡單地形成高精度圖案,將有助於降低加工成本。此外,由於無需任何微影製程使用的光阻劑或化學品,故可減少對環境的影響並提高成本效益。且因為是一項非常簡易的加工技術,將易於導入產業。


資料來源: https://www.ritsumei.ac.jp/file.jsp?id=605585&f=.pdf
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