散熱性提高2倍以上之氮化鎵電晶體

 

刊登日期:2024/1/4
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日本大阪公立大學與東北大學利用鑽石做為基板製作了氮化鎵(GaN)電晶體,與在碳化矽(SiC)基板上製作之相同形狀的電晶體相比,成功將散熱性提高了2倍以上。除了5G通訊基地台、氣象雷達、衛星通訊等領域之外,亦可望應用於迄今一直使用真空管的微波加熱或電漿加工等領域。

GaN電晶體做為高功率、高頻半導體元件,應用於行動數據通訊基地台、人工衛星通訊系統等用途,但電晶體在運作過程中產生的發熱成為其性能或壽命降低的原因,因此底層基板須採用具有高散熱性能的材料。然而,一般已普及的SiC基板電晶體在運作時的散熱性仍有不足。
 
研究團隊在矽基板上生成了厚度3 μm的GaN層與厚度1 μm的碳化矽(3C-SiC)緩衝層之後,接著將這2層從矽基板上剝離,並利用表面活性接合法將其接合至鑽石基板上,製造出約1吋的GaN電晶體。由於使用了高品質的碳化矽薄膜,因此即使經過1,100℃的熱處理,接合界面也不會發生薄膜剝離,進而可以獲得高品質的異質接合界面。
 
為了驗證使用此方法製造之鑽石基板上的GaN電晶體散熱性能,故與在SiC基板上製造的相同形狀電晶體相比較之後,確認鑽石基板上的電晶體散熱性是SiC基板電晶體的2.3倍。此外,與其他先行研究中製作的鑽石基板電晶體相比亦具有更高的散熱性,成功地大幅改善了電晶體特性。
 
研究團隊表示,利用新開發的GaN電晶體將可促進系統的小型化、冷卻機制的簡單化,進而有助於顯著減少二氧化碳排放量。今後若能進一步實現使用鑽石基板的大面積GaN電晶體開發,將可望活用於5G通訊基地台、氣象雷達、衛星通訊等領域。

資料來源: https://www.omu.ac.jp/info/research_news/entry-09167.html
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