在採用磁濾管系統的電漿成膜製程中,磁濾線圈所產生的磁場與基板偏壓所產生的電場對電漿特性與成膜品質有非常重要的影響,由於電漿與電磁場間牽涉非常複雜的交互作用過程,因此以電腦模擬來研究電磁場對電漿的作用機制是相當有效的方法,本文將介紹使用於電磁場影響電漿成膜製程模擬研究的電漿粒子式模型與其應用。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 以二氧化鈦為基礎的薄膜(下) 耐久性提高40倍以上的觸控面板用抗反射薄膜 不需燒結,塗佈後以光進行奈米多孔質陶瓷成膜 低溫製作氧化膜 僅需塗覆即可阻氣 熱門閱讀 「Touch Taiwan 2022」現場報導系列一 「Touch Taiwan 2022」現場報導系列二 磷酸鋰鐵(LiFePO4)4680電池, 昇陽已經準備好了 車用顯示面板發展趨勢 邁向全固態鋰電池:固態電解質之傳輸動力學 相關廠商 金屬3D列印服務平台 2022 Touch Taiwan 系列展 捷南企業股份有限公司 名揚翻譯有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 科邁斯科技股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 東海青科技股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 誠企企業股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司 華錦光電科技股份有限公司