電磁場影響電漿成膜製程模擬之電漿粒子式模擬方法與應用

 

刊登日期:2006/4/5
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在採用磁濾管系統的電漿成膜製程中,磁濾線圈所產生的磁場與基板偏壓所產生的電場對電漿特性與成膜品質有非常重要的影響,由於電漿與電磁場間牽涉非常複雜的交互作用過程,因此以電腦模擬來研究電磁場對電漿的作用機制是相當有效的方法,本文將介紹使用於電磁場影響電漿成膜製程模擬研究的電漿粒子式模型與其應用。


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