在採用磁濾管系統的電漿成膜製程中,磁濾線圈所產生的磁場與基板偏壓所產生的電場對電漿特性與成膜品質有非常重要的影響,由於電漿與電磁場間牽涉非常複雜的交互作用過程,因此以電腦模擬來研究電磁場對電漿的作用機制是相當有效的方法,本文將介紹使用於電磁場影響電漿成膜製程模擬研究的電漿粒子式模型與其應用。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 化合物半導體製程用CVD SiC鍍膜技術 以二氧化鈦為基礎的薄膜(下) 耐久性提高40倍以上的觸控面板用抗反射薄膜 不需燒結,塗佈後以光進行奈米多孔質陶瓷成膜 低溫製作氧化膜 熱門閱讀 從ICSRSM 2023看碳化矽材料領域發展(上) 鋼鐵產業低碳製程技術發展趨勢 Ga2O3功率元件於電動車應用的發展(上) 高安全鋰電池材料與技術 聚焦二氧化碳再利用,推動脫化石資源依賴 相關廠商 金屬3D列印服務平台 大東樹脂化學股份有限公司 友德國際股份有限公司 喬越實業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 誠企企業股份有限公司 桂鼎科技股份有限公司