應用雷射脈衝高電流電弧技術成長類鑽薄膜

 

刊登日期:2006/4/5
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雷射脈衝高電流電弧(Laser Pulsed High Current Arc; LPHCA)是以雷射結合脈衝高電流電弧(Pulsed High Current Arc; HCA)之技術。此技術藉由雷射的觸發而產生電弧,因此可將電弧產生的時間控制在100~200µs,且可在特定的區域產生電弧,以避免陰極之過熱現象而大幅減少陰極靶材所產生之固體微粒。利用此技術成長出不含氫之類鑽薄膜(Diamond Like Coating; DLC),其具備高硬度、高表面平滑度等特性,在耐磨耗的應用上受到廣泛重視。本文利用製程參數的調控,以期成長出最高硬度之類鑽薄膜。
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