本文利用有限單元法(Finite Element Method)分析皺折振膜(Corrugated Diaphragm)之機械感度及第一共振頻率。由於影響麥克風感度或受話器輸出聲壓最主要因素是振膜的機械感度，且上述兩電聲元件之可用頻寬由振膜之第一共振頻率決定。因此，本文針對不同皺折形式之振膜作詳細分析，選定四種不同形式的皺折振膜，包含泝全皺折、沴局部皺折、沊全皺折外加電橋及沝局部皺折外加電橋，其中振膜尺寸為1mm×1mm，材質為氮化矽。利用有限單元法分析不同形式的皺折振膜之機械感度與第一共振頻率將與平面振膜做比較。本分析結果可提供往後製作氮化矽麥克風振膜或微型靜電式受話器振膜之設計參考依據。