日本AGC活用氟素技術,以塗佈製程用撥液隔牆材料投入光阻劑市場

 

刊登日期:2020/11/17
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日本AGC公司將活用本身的氟素技術,著手展開光阻劑(Photoresist)事業的育成,並計畫以塗佈製程之次世代顯示器用撥液隔牆(Bank)材料投入市場。

微影成像(Photolithography)製程中所使用的撥液隔牆(Bank)可讓噴墨印刷噴出的發光材料收容在一定位置,具有防止油墨混色的功能。而AGC的撥液隔牆材料最大的特徵在於「自行撥液性」,並不是在塗佈等後處理時賦予撥液性,而是在一般微影成像工程中使其呈現撥液性。這項特徵是利用了氟素特有的「表面移行性」,氟聚合物具有往空氣界面表面移動的性質,塗佈了含有氟素的光阻劑後,氟素會在光阻劑表面聚集,在微影成像工程中,隔牆形狀的圖案(Patten)在切割之後,氟素成分會殘留在山頂部分,進而形成了撥液隔牆。

另一項技術重點則是在收容油墨液滴的隔牆側面,凹處部分保有親液性的技術。為了實現這項技術,在塗佈光阻劑之後,將氟素全部集中在表面是重點。如果氟素殘留在內部的話,圖案形成後,在隔牆的側面也會形成空氣界面,氟素就會移動到側面,使其呈現撥液性。

雖然收容在隔牆之間的液滴最後會變成薄膜,但周圍是親液性的話,薄膜也比較容易平坦化。而在凹處部分沒有含有氟素的光阻劑殘渣的話,就能帶來與下方部位陽極有良好連結的優點。

目前AGC已經開始供應商業樣品,並預計有多家面板廠商採用於試量產。此外,AGC也計畫對量子點(QD)彩色濾光片進行提案。


資料來源: 化學工業日報/材料世界網編譯
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