利用超臨界流體(SCF)製造奈米材料

 

刊登日期:2004/3/5
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本文主要探討於超臨界或接近超臨界之流體合成奈米微粒、奈米線材及薄膜蒸鍍最新的物理與化學製程之開發。SFCD、CFD及SFID於未來化學及電子工業製備小結構智慧型材料之金屬與金屬氧化物膜為極具潛力之技術。
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