場發射式歐傑電子顯微鏡(AES)/微區表面化學電子能譜儀(ESCA)之簡介

 

刊登日期:2003/9/5
  • 字級

AES/ESCA/XPS一直是研究表面/薄膜材料之重要分析工具,而現代之場發射式歐傑電子顯微鏡(FE-AES)及微區表面化學電子能譜儀(µ-ESCA/XPS)除包含所有AES/ESCA/XPS之功能外,更增強了許多以往分析上之能力與應用,如反射式電子能量損失能譜(REELS)、10nm以下之影像解析度、低能離子縱深分析、高解析之化態分析、絕緣材質分析⋯等,本文即重點式的介紹工研院材料所今年新購置之多功能FE-AES及µ-ESCA/XPS檢測儀器分析方法及應用,希望做為日後讀者利用其先進功能以開發新產品之依據。
分享
為此篇文章評分

相關廠商