奈米結構之機械性質量測及分析技術簡介

 

刊登日期:2003/12/5
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奈米結構之機械性質的檢測技術,可提供材料開發及製程改善等許多重要資訊,如彈性模數、彈性係數、摩擦和粗糙概念。其應用有光通訊技術之光學薄膜、顯示器產業大面積膜厚技術、奈米電子技術高介電材料之Design in Reliability 技術、電子構裝技術的Build-in 整合型功能基板的材料特性量測分析及製程改善分析;奈米模板、奈米複合材料、磁性薄膜,以及基礎產業的奈米高分子、奈米塊材/混成材/孔隙材料等材料之硬度及耐磨耗特性分析等。本文針對目前常用的檢測技術之基本原理及分析方法作簡單的介紹。
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