日本Toray開發一項大幅提升抗靜電性能的高抗靜電型ABS樹脂,其表面電阻率達到10⁹ Ω/sq,為既有材料的5分之1。新材料為持續型抗靜電ABS 樹脂「TOYOLAC PAREL」系列下的高抗靜電等級,可望應用於半導體與電子設備製造現場之超精密作業的托盤、載具、收納盒等搬運資材,可有效抑制微小靜電的產生,降低因異物或粉塵造成的產品損傷或不良品風險。
在半導體產品朝向微細化與高集積化發展的背景下,即使是極微量的靜電也可能導致元件損傷或良率下降,促使製程各環節所使用的搬運資材亦須具備更高的抗靜電性能。此外,製程流程中亦需要能確認內容物的透明盒以及可透過色彩區分的彩色零件,因此外觀品質與設計性也成為重要條件。然而,一般利用導電性填料賦予抗靜電性的ABS樹脂,仍有填料脫落風險造成抗靜電性能不穩定,以及因大多為黑色外觀而限制成形品外觀品質與色彩選擇等問題。
Toray此前已推出「TOYOLAC PAREL」,透過在ABS樹脂中形成抗靜電聚合物連續層網絡賦予其抗靜電性,並已廣泛採用於半導體製造流程中。此次開發的新材料透過抗靜電聚合物的分子結構設計改良並運用Toray自有的聚合物合金技術,實現微米單位之連續層結構的精準控制,使表面電阻率顯著降低,達到可用於晶片周邊等高要求領域的性能水準。Toray指出,目前市場上尚未發現能在不含導電填料情況下達到同等性能的競爭材料。今後Toray也將持續依據客戶需求推進更高階性能的研究開發。