應用直流電弧離子鍍膜技術沉積ITO薄膜

 

刊登日期:2006/4/5
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隨著科技日新月異的發展,鍍膜技術亦不斷的演變進化,從原先的電阻熱蒸鍍技術,發展至今的高密度電弧電漿離子鍍膜技術等,都是因應著各種薄膜應用的需求而衍生出來。直流電弧離子鍍膜技術在市場上受到極大的重視,而脈衝式直流電源供應器在直流電弧離子鍍膜技術上被廣泛的應用。脈衝電壓的施加,基材上離子的暫態電流亦隨之增加,因此在沉積薄膜的過程中,所產生之粒子到達基材的數量就會受到偏壓大小的影響。本文將介紹如何利用高密度電弧電漿離子鍍膜技術,搭配脈衝偏壓電源供應器,沉積銦錫氧化物(Indium Tin Oxide; ITO)薄膜。

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