功能材料由於可以兼作感測器(Sensor)及致動器(Actuator),隨著微機電系統應用的擴展,其薄膜的製作與特性掌握日趨重要。氮化鋁與矽的熱膨脹係數很接近,且與標準IC製程完全相容,其相對較大的波速,可用作高頻率濾波器,同時亦可應用於各式感測器及驅動器等,故廣為各方重視。本文將概述氮化鋁壓電薄膜的製作及特性化的方式。 Download檔案下載 加入會員 分享 轉寄 聯絡我們 延伸閱讀 薄膜體型聲波濾波器及雙工器設計 射頻微機電元件可靠度和氣密構裝解析 射頻微機電元件發展現況 微機電技術在射頻應用發展可期 壓電薄膜量測方法簡介 熱門閱讀 玻璃基板上TGV的金屬化製程 玻璃成孔技術發展現況 玻璃通孔(TGV)之電鍍銅金屬化處理及其微結構改質 半導體用抗反射層材料 半導體用光酸材料技術 相關廠商 台灣石原產業股份有限公司 Hach台灣辦事處 金屬3D列印服務平台 山衛科技股份有限公司 喬越實業股份有限公司 廣融貿易有限公司 高柏科技股份有限公司 正越企業有限公司 工研院材化所 材料世界網 桂鼎科技股份有限公司 照敏企業股份有限公司 台灣永光化學股份有限公司 台灣大金先端化學股份有限公司 大東樹脂化學股份有限公司 志宸科技有限公司