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【化合物半導體晶圓與元件製備技術發展及應用】與【產業廢酸鹼回收技術】專題

工業材料雜誌 452 期

出版日期: 2024/8/5

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當期雜誌簡介

探索未來科技的基石―化合物半導體引領新世代電子革命
隨著科技的快速進步，半導體技術在各行各業中的應用變得日益廣泛且重要。其中，化合物半導體材料由於具有許多優於矽材料的特性，如更高的電子遷移率、更寬的能隙和更好的熱導率等，使其在高功率電子元件、高頻電子元件、光電子元件和高溫結構材料等應用中極具優勢，現已大量運用在5G通訊與電動車市場，尤其以碳化矽(SiC)之發展與應用最為快速。在半導體材料中，受限於成本與成熟度，各種材料之間無法替代，而且在市場應用上有所區隔。寬能隙化合物材料軍團以最強大的應用特性，立足於高電壓之能源轉換、高頻通訊與AI之應用，目前仍以碳化矽為主，但後起之秀如氧化鎵(Ga₂O₃)與氮化鋁(AlN)已虎視眈眈，隨時都能成為一方霸主。

本期「化合物半導體晶圓與元件製備技術發展及應用」專題，將介紹目前已發展之不同化合物半導體材料、應用與其市場發展。透過「化合物半導體材料市場與應用導論」、「碳化矽晶體成長技術發展」、「氧化鎵長晶技術發展與應用」、「氮化鋁長晶技術發展與產品應用」、「化合物半導體材料晶圓製備技術」五篇專文，從主流的碳化矽、氧化鎵、氮化鋁等材料端，到製程端各原材料之製備技術、AI模擬熱場、長晶技術介紹等；並邀請業界先進共同以碳化矽為實例，介紹從晶錠到晶圓的切磨拋加工成型技術，旨在提供讀者業界目前寬能隙材料之技術資訊。未來隨著市場對高功率、高頻和高溫應用需求的增加，寬能隙半導體材料應用將更加廣泛，並且相關的晶圓製備技術也將不斷優化和進步，以提升應用價值和市場競爭力。期望藉由本期技術專題的材料市場剖析，能夠激發讀者對化合物半導體材料與技術之興趣，投入並促進相關技術的研究和應用，帶動國內人才及產業的發展。

酸鹼循環零廢棄，產業永續無阻力
高科技產業如半導體、面板等，或是傳統產業如金屬表面處理、化材業等，於製造生產過程中，都一定會用到酸鹼液，製程所排放出的酸鹼液被歸納在有害事業廢棄物。廢酸鹼現況再利用方法多為中和結晶，將廢酸轉化為其他離子鹽類於其他工業再利用，如：廢硫酸製成硫酸鋁及硫酸銅、廢磷酸製成磷酸鈉、廢氫氟酸製成人造螢石及冰晶石、廢氨液製成硫酸銨，但這些都無法再回用於原廢酸鹼產出廠。最理想的做法，是由廢酸鹼排放廠將所排放的廢酸鹼經由純化後，再回到廠內再利用，這樣可以減少廢棄物產生量，降低環境影響，同時避免後續需要中和處理衍生的加藥成本。然而，廢酸鹼純化再利用技術仍有瓶頸，傳統做法所使用的蒸餾技術需要一定高度的蒸餾塔器，還需要蒸汽熱源，很難在一般工廠設置，如何以簡易的程序將製程所產出的廢酸鹼加以純化回用，將會是未來產業高度需求的技術。

本期「產業廢酸鹼回收技術」專題內容包含「半導體產業廢硫酸純化再利用」、「產業蝕刻製程廢液純化再利用技術之創新與應用」、「表面處理酸性廢液純化再利用」、「含銨廢水氮回收再利用技術評估」，盤點產業廢酸鹼回收技術，主要用以分離廢酸鹼中金屬離子與酸鹼成分，並達到提濃效果，技術含括樹脂、薄膜蒸餾、擴散滲析、電透析等。半導體業產生的廢硫酸是半導體廢棄物重大議題，經由文獻及專利分析，探討純化及去化可行方案，半導體及面板業產生的蝕刻廢液含高濃度磷酸，透過薄膜及樹脂技術導入，可有效將有害金屬離子與磷酸分離。然而在技術可行的情況下，必須衡量其經濟效益，以近幾年原物料上漲情形，同時廢棄物處理費用高漲的局勢下，酸鹼廢純化再利用必然有其市場性。

主題專欄與其他
高分子專欄「新穎5G軟性基板材料開發與應用」介紹工研院材料與化工研究所透過精密聚縮合及製膜加工技術，開發可溶型液晶高分子(LCP)材料，以建立關鍵材料自主化之優勢，提升國內PCB產業之國際競爭力。市場瞭望專欄「邁向碳中和之機械載具最新發展趨勢」分析，新能源載具將在控制總碳排上扮演至關重要的角色，氫能車與電動車為替代燃油汽車之優選方案。接續上期，循環經濟專欄「汰役鋰電池之降階與回收(下)」探討汰役鋰電池的可行處置方式，目前主要係以降階與回收兩大方式進行處置，以降低鋰電池製造過程對新原材料的需求，同時也減少廢鋰電池對環境的污染，促進汰役鋰電池的整體循環經濟。「生物氫與循環經濟，實現零廢物程序(下) 」說明從經濟和永續性方面來看，使用微生物產氫比其他方法更具優勢，以廢棄物作為料源的暗醱酵產氫程序，並整合其他技術之生物精煉程序，可實現循環經濟與達成零廢物之目標。專文篇篇精彩，歡迎賞閱！

凡對以上內容有興趣的讀者，歡迎參閱2024年8月號《工業材料》雜誌452期或參見材料世界網，並歡迎長期訂閱 或 加入材料世界網會員，以獲得最快、最即時的資訊！

展開/收回

雜誌目錄

▓ 化合物半導體晶圓與元件製備技術發展及應用

37 探索未來科技的基石—化合物半導體引領新世代電子革命

38 化合物半導體材料市場與應用導論

53 碳化矽晶體成長技術發展

63 氧化鎵長晶技術發展與應用

76 氮化鋁長晶技術發展與產品應用

84 化合物半導體材料晶圓製備技術

▓ 技術發表會

92 氟素系新液體「DAISAVE」系列的開發

▓ 產業廢酸鹼回收技術

96 酸鹼循環零廢棄，產業永續無阻力

97 半導體產業廢硫酸純化再利用

104 產業蝕刻製程廢液純化再利用技術之創新與應用

110 表面處理酸性廢液純化再利用

119 含銨廢水氮回收再利用技術評估

▓ 主題專欄

126 新穎5G軟性基板材料開發與應用

137 邁向碳中和之機械載具最新發展趨勢

143 汰役鋰電池之降階與回收(下)

151 生物氫與循環經濟，實現零廢物程序(下)

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