CIGS薄膜製程技術

 

刊登日期:2010/9/5
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CIGS四元化合物是目前三種具量產可行性的薄膜太陽電池材料之一,本文介紹其多樣化的薄膜製程,包括多源蒸鍍和快速硒化。CIGS源自CuInSe2,具黃銅礦結構的I-III-VI2族化合物,其材料組成可偏離定比值達數個原子百分比,然而材料性質與定比組成偏離值密切相關,因此薄膜的化學組成是製程上必須掌控的重點,大面積量產製程的成功與否亦繫於此,本文也針對此議題加以探討。
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