近年來由於環保意識抬頭，傳統的能源不斷的消耗，汽、機車與工廠排放廢氣所產生的環境污染和全球暖化，進而促使再生能源議題備受重視。其中太陽能除了沒有能源耗盡的疑慮與低二氧化碳排放量之外，更可避免能源被壟斷的問題。矽薄膜太陽電池可減少矽原料的使用量，具有可撓性與建築外牆搭配形成建築一體(Building Integrated Photovoltaic; BIPV)模組等優點。而堆疊型的太陽電池(Tandem Micromorph Solar Cell)比非晶矽元件有更高的光電轉換效率，其中微晶矽扮演相當重要的角色，也是目前研發的重點。因此本文將針對微晶矽薄膜的基本特性、成長機制與微晶矽薄膜沉積技術做一詳細介紹。最後再說明微晶矽薄膜品質對元件的影響。