薄膜在軟性顯示器基板之應力與撓曲特性(上)

 

刊登日期:2007/1/5
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軟性顯示器具有輕、薄、可撓曲與低成本特性,近年來已成為次世代新興顯示器的研發重點之一。不過,以塑膠為基板的軟性顯示器與目前無機TFT 材料的熱膨脹係數差異甚大,在經高溫製程後,基板會因應力存在而嚴重彎曲變形,導致黃光偏移嚴重,也會影響到TFT 元件特性與良率,加上後續的撓曲可靠度測試,技術挑戰性相當高。本文將針對薄膜應力的來源與解析方法和撓曲可靠度測試做介紹。


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