薄膜在軟性顯示器基板之應力與撓曲特性(上)：材料世界網

軟性顯示器具有輕、薄、可撓曲與低成本特性，近年來已成為次世代新興顯示器的研發重點之一。不過，以塑膠為基板的軟性顯示器與目前無機TFT 材料的熱膨脹係數差異甚大，在經高溫製程後，基板會因應力存在而嚴重彎曲變形，導致黃光偏移嚴重，也會影響到TFT 元件特性與良率，加上後續的撓曲可靠度測試，技術挑戰性相當高。本文將針對薄膜應力的來源與解析方法和撓曲可靠度測試做介紹。

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